(b)是扩散掺杂，杂质浓度都是余误差分布；B(c)是离子注入掺杂，是高斯分布；C(a)是限定源扩散掺杂，是余误差分布；(b)是恒定源扩散，是高斯分布；D(a)是限定源扩散掺杂，是高斯分布；(b)是恒定源扩散，是余误差分布；E(a)